在半導體晶圓廠里，一爐價值不菲的晶圓，最怕的往往不是設(shè)備故障，而是工藝氣體中悄然超標的幾個ppb的多余水分。在光纖拉絲、光學鍍膜、特種氣體生產(chǎn)等領(lǐng)域，情況同樣如此，越純的氣體，越怕那一點點看不見的水。長期以來，ppb級痕量水分測量一直是個“昂貴的命題"：傳統(tǒng)精密分析儀價格高、系統(tǒng)復雜、維護成本不菲，而普通變送器又測不到那么低的露點。Michell密析爾Pura超純氣體露點儀，正是為解決這一痛點而生，用緊湊可靠的變送器級方案，實現(xiàn)低至-120°Cdp（約1ppbV）的痕量水分在線測量。

　　高淳氣體應用得核心挑戰(zhàn)：

　　在高純氣體應用中，水分的破壞力往往被低估。以半導體制造為例，光刻、刻蝕、沉積等工藝使用的載氣與反應氣，若水分含量超標，會在晶圓表面形成氧化層、導致刻蝕不均、降低薄膜附著力，最終表現(xiàn)為良率下降。由于普通露點儀的測量下限通常只能到-60°Cdp左右，無法覆蓋超干氣體的ppb級測量需求，而實驗室級精密水分分析儀雖能滿足精度要求，卻往往價格高昂、系統(tǒng)復雜、需定期維護與載氣，在大規(guī)模、多測點的在線部署中成本與運維壓力顯著，難以全面鋪開。

　　變送器ppm級在線測量方案：

　　Michell密析爾Pura超純氣體露點儀的核心價值，在于把ppb級痕量水分測量能力，裝進了一臺緊湊、經(jīng)濟、易維護的變送器中，讓超純氣體的多測點在線監(jiān)測成為可能。

　　1)寬量程與快速響應

　　基于Michell密析爾金屬氧化物陶瓷濕度傳感器技術(shù)，Pura測量范圍覆蓋-120~-40°Cdp，重復性±0.1°C，T90響應時間小于10秒，既能監(jiān)測超干氣體的ppb級基線水分，也能在干燥劑穿透時快速響應，為工藝爭取處置窗口。每臺傳感器出廠附帶7點可追溯校準證書。

　　2)豐富輸出，靈活接入

　　搭配Advanced Online 2控制器，提供3路可配置4-20mA模擬輸出、Modbus RTU over RS485數(shù)字輸出及4路可編程繼電器報警，可直接接入DCS/PLC系統(tǒng)。3.5英寸彩色觸摸屏支持露點與水分含量（ppmV、g/m3、lbs/MMscf）自由切換，帶實時壓力補償。

　　3)高純級設(shè)計與低維護成本

　　取樣塊采用冷拉不銹鋼、內(nèi)表面0.1~0.2 Raµm級電拋光，減少水分吸附與釋放；1/4"或1/2"VCR接口適配高純管路；傳感器防護等級IP65，最大工作壓力24MPa。Michell密析爾提供傳感器交換服務(wù)，現(xiàn)場更換僅需數(shù)分鐘，實現(xiàn)過程零停機；產(chǎn)品擁有ATEX、IECEx、UL等全球認證。